一、干式液氮温区探针台

产品特征如下：

1.真空腔体：真空度优千6X 10-4Pa。降温后优千6X10-5Pa。留有2个用户法兰接口(KF40可接入气体或者额外的电缆）

2.探针控制：标配6个探针臂。调节范围110mm*50mm*30mm, 调节精度优于10um。每个探针臂配 备一根Tri ax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Tri ax三同轴低漏电线缆；

3.显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物镜时，视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优千2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

4. 变温样品台：直径标配50mm, 选配最大150mm。变温范围：6K~400K。控温稳定性优千土1. 01 K;

5. 可选配接入光纤， 可将一根或几根电学探针替换为光纤
6. 系统直流漏电低于1pA;

7. 产品含进口分子泵机组、 全量程真空规和智能温控仪。

二、低温液氮探针台

产品特征如下：

1. 真空腔体：真空度优于6X 10-4Pa。降温后优于6X10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm, 调节精度优于10um。每个探针臂配备Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。

3.显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头， 带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦。

4.变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于土0. 01 K;

5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；
6. 系统直流漏电低千1pA。

7.产品含进口分子泵机组、 全量程真空规和智能温控仪。

三、室温自动探针台

    室温自动探针台是高可靠性探针台系统，主要应用在半导体／微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电／MEMs, 生物芯片， 航空航天等科学研究领域，以及IC设计／制造／测试／封装、LED、 LCD/OLED、 LD/PD、 PCB、FPC等生产制造领域。旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、 Y、 Z、 R等方向自动调整，各移动轴可实现土0. 005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。

产品特征如下：

  1. 标配4个探针臂， 可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Tri ax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Tri ax三同轴低漏电线缆；
  2. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜， 光学放大倍率：0.5X~5.0X （使用1X附加物 镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头， 带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦
  3. 样品座采用电机驱动， 可实现快速千目镜下寻找样品， 调节范围：100mm*100mm*15mm＊ 士180°。