半导体器件研发测试平台
系统组成：探针台；高精度数字源表；半导体分析测试软件；必要的连接电缆附件。
一、 分析探针台：
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
主要特点：
1.承片台XYZ及转角可调，带有一键升降功能，方便被测器件接触/分离；
2.90X显微镜（可配CCD相机+显示器），观察清晰；
3.可配2-6个三维精密调节针座，针尖可选5-100um，适用各种器件pad;
4.各探针及承片台均可接测试仪表，适配各种仪表电缆接头。
二、 高精度数字源表:
2450高精度数字源表具有高精度的电流源、电压源、电压测量、电流测量、电阻测量，其同步输出-测量模式可以快捷准确测量得到器件的IV特性曲线。其创新的图表化用户界面(GUI)和先进的电容触摸屏技术，实现了直观使用和学习曲线简便化，支持工程师和科学家掌握更迅速、工作更便捷、发明更简单。2450是适用于各行各业使用者的源测量单元(SMU)：这种多用途仪器特别适合现代半导体、纳米器件和材料、有机半导体、印刷电子技术以及其他小尺寸、低功率器件特性分析。（2450高精度数字源表该产品目前我司有现货）
三、 分析测量软件：
自主研发的分析测量软件，其功能包含—
1.接口支持：GPIB、LAN、USB（TYPE-B）。
2.操作系统：支持WIN7以上操作系统，中文界面。
3.支持IV、VI线性扫描（起始、终止、步长、正向、反向、双向扫描），支持多次重复扫描（不少于1000000次），扫描曲线可叠加显示（不少于20条）。
4.支持IV，VI自定义扫描，用户可以编辑自定义扫描的输出，软件可加载自定义扫描文件并可连续触发执行多次。
5.支持I-T、V-T、R-T曲线测量，可定义运行时间长度。
6.支持阶梯恒流恒压输出，每个阶梯可按照运行时间，大于或者小于阈值电流，电压设置终止条件，可循环多次运行（不少于1000000次）。
7.支持脉冲电流，脉冲电压输出（最小脉宽：1ms，最小周期：2ms）。
8.支持电流、电压正弦波、方波输出。
9.支持阻变测试。
10.支持忆阻器IV扫描测试，可循环多次扫描（不少于1000000次）。
11.支持4探针电阻率测试，可计算表面电阻、电阻率。
12.支持太阳能电池IV测试，可计算短路电流，开路电压，最大功率，转换效率，填充因子等，可选择任意多条曲线汇总对比，导出。
13.支持太阳能电池最大功率点追踪。
14.支持电池充放电测试。
15.支持电化学-循环伏安法测试。
16.软件可安装在任意多台计算机上执行。
17.数据实时显示和保存
18.数据直接记事本、Excel打开，也可导入Origin内进行分析。
其他型号的探针台—6-12英寸手动/自动；测试仪—各品牌SMU,LCR表，矢网等；软件—可以定制开发。
