172nm光刻及相关半导体加工工艺(Lithography Related)
主要特性
×

-电机内置废液罐,确保电机寿命
-可拆卸式匀胶机腔体,便于清洗
-外置集液罐和排液管
-样品夹具采用分离式防堵设计
长x宽x高:
最大φ200mm(φ8'')或150 x 150mm(6'' x 6'')
最大10000 rpm,转速步进1 rpm
最大4000 rpm/sec
1~999.9 sec,步进0.1 sec
可拆卸、防溅式
高密度PP,白色
220 VAC/单相/50或60 Hz
-0.8 bar/-600 Torr,真空管OD φ8mm,IDφ6mm
排气管1xOD φ38mm,排气速度30m3/h
450x511x425 mm