172nm光刻及相关半导体加工工艺(Lithography Related)
主要特性
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秉承操作便捷、快速成像、性能稳定的设计目标,钨灯丝台式扫描电子显微镜ZEM15

ZEM15台式扫描电镜速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。

主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。


秉承操作便捷、快速成像、性能稳定的设计目标,钨灯丝台式扫描电子显微镜ZEM15

ZEM15台式扫描电镜速度快,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。

主机集成高压及控制系统,体积小巧,便于移动,可出差携带,安装无需特殊环境,只需找一张桌子,供电就可工作。



ZEM15台式扫描电镜主要参数指标

放大倍数

60000x   150000x

加速电压

500V - 15kV

电子源

预对中钨灯丝

聚光镜

两级电磁变焦聚光镜

样品台

X-Y两轴自动样品台

样品台移动范围

30mm×30mm

标准配置

背散射电子探测器
二次电极探测器
CCD光学导航

尺寸

主机283×553×505
机械泵165×300×150

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